[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [15p-A23-15] 電子線照射発光活性化PL法による太陽電池用CZ-Si中の
低濃度炭素の定量

〇木内 広達¹、田島 道夫¹、樋口 史仁¹、小椋 厚志¹、飯田 伸仁²、橘 昇二²、正田 勲²、西島 英一² (1.明治大理工、2.株式会社トクヤマ)

キーワード：フォトルミネッセンス、炭素濃度