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△ [15p-A23-16] 電子線照射発光活性化PL法によるCZ-Si結晶中の酸素析出過程の解析
キーワード：シリコン、フォトルミネッセンス、サーマルドナー
CZ-Si結晶の欠陥制御に向け酸素析出過程を正確に理解するために，酸素・炭素の挙動を把握することが第一に必要である．本稿では，近年注目を集めている発光活性化PL法を用いて，析出の最も初期段階で，照射等の攪乱の影響を受けやすいと考えられるサーマルドナー(TD)の発生過程に対して，TD 関連欠陥に起因する深い準位のPLの変化，並びにC-, G-lineの発生の検証と熱処理前後の変化量の考察を行った．