[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-A23-17] 高平行度X線散漫散乱法による酸素析出物解析

〇堀川 智之¹、仙田 剛士¹、松井 純爾²、津坂 佳幸² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.兵庫県立大院)

キーワード：シリコンウェーハ、酸素析出物、散漫散乱