[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-A23-8] 平行デュアルレーザビーム法による自由キャリアのバルク寿命評価: 不純物酸素析出による寿命劣化の検出

〇金田 寛¹、大村 一郎¹ (1.九工大院工)

キーワード：シリコン、キャリアライフタイム、レーザー