2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2016年9月15日(木) 13:15 〜 18:45 A23 (201B)

前田 貴弘(グローバルウェーハズ・ジャパン)、小島 拓人(明治大)、大野 裕(東北大)

15:15 〜 15:30

[15p-A23-8] 平行デュアルレーザビーム法による自由キャリアのバルク寿命評価: 不純物酸素析出による寿命劣化の検出

金田 寛1、大村 一郎1 (1.九工大院工)

キーワード:シリコン、キャリアライフタイム、レーザー