[15p-A41-1~17] 12.5 有機太陽電池

[15p-A41-14] 有機無機ハイブリッド材料研究開発のためのコンビナトリアル分子層積層製膜システム

〇川嶋 一裕¹、岡本 裕二²、鈴木 義和²、伊高 健治³、松木 伸行⁴、角谷 正友⁵、長沢 春男¹、佐藤 利弘¹、鈴木 摂¹、鯉沼 秀臣^1,2,5 (1.コメット、2.筑波大、3.弘前大、4.神奈川大、5.NIMS)

キーワード：有機無機ハイブリッド材料、ペロブスカイト太陽電池、シリコン/ペロブスカイトタンデムセル

低融点材料の製膜するための技術として赤外（IR）レーザー製膜の研究開発を行っている。今回、有機無機ペロブスカイトCH₃NH₃PbI₃のIRレーザーによる製膜システムを設計・試作した。
膜厚計を使ってレーザー出力にPID制御を行い、優れた製膜速度の安定性を得た。製膜速度の安定した制御は、コンビナトリアル技術の精度を向上し、製膜の再現性を高め、シリコンとのタンデム構造に展開する重要な要素技術と考える。