[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15p-B10-6] 非対称マッシュルーム型プラズモニックメタマテリアル吸収体による赤外偏光検知

〇小川 新平¹、藤澤 大介¹、久保山 貴文²、木股 雅章² (1.三菱電機株式会社、2.立命館大学)

キーワード：プラズモン、赤外線センサ、偏光