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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2016年9月15日(木) 13:45 〜 18:30 B10 (展示控室1)

佐々木実(豊田工大)

15:30 〜 15:45

[15p-B10-7] 高い波長選択性を持つMEMS Fabry‐Perot干渉型表面応力センサの設計・製作

〇(M1)高橋利昌¹、桝屋善光¹、石田隼斗¹、飛沢健¹、髙橋一浩¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：ファブリペロー干渉計、表面応力、タンパク質