2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2016年9月15日(木) 13:45 〜 18:30 B10 (展示控室1)

佐々木 実(豊田工大)

15:30 〜 15:45

[15p-B10-7] 高い波長選択性を持つMEMS Fabry‐Perot干渉型表面応力センサの設計・製作

〇(M1)高橋 利昌1、桝屋 善光1、石田 隼斗1、飛沢 健1、髙橋 一浩1 (1.豊橋技科大)

キーワード:ファブリペロー干渉計、表面応力、タンパク質