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[15p-B11-6] MEMS optical interferometric sensor for biomarker detection
Keywords:biosensor, MEMS, optical interference
本研究では、MEMS型バイオセンサの感度向上を目指し、ファブリペロー干渉を利用した新規なトランスデューサを提案している。このセンサはセンサ可動膜と測定対象分子との相互作用に起因する表面ストレスを検出する。光信号を介することにより、キャビティの変化量に対して指数関数的に増減する信号変換技術を利用することにより、超高感度バイオマーカー検出が可能である。