[15p-B11-1~10] バイオと共生する電子デバイスを目指して

[15p-B11-6] 光干渉型ＭＥＭＳセンサによるバイオセンシング

〇高橋 一浩¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：バイオセンサ、MEMS、光干渉

本研究では、MEMS型バイオセンサの感度向上を目指し、ファブリペロー干渉を利用した新規なトランスデューサを提案している。このセンサはセンサ可動膜と測定対象分子との相互作用に起因する表面ストレスを検出する。光信号を介することにより、キャビティの変化量に対して指数関数的に増減する信号変換技術を利用することにより、超高感度バイオマーカー検出が可能である。