[15p-B2-1~14] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [15p-B2-4] SiGe薄膜のラマンスペクトルに見られるブロードピークの起源の検討

〇武内 一真¹、小瀬村 大亮¹、横川 凌¹、澤本 直美¹、臼田 宏治²、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.(株)東芝)

キーワード：シリコンゲルマニウム、ラマン分光法、ブロードピーク

SiGeは電子デバイスや光デバイスなど様々な応用が期待されており、SiGeをこれらのデバイスに適用するためには、種々パラメータを最適化する必要がある。ラマン分光法は光学測定のため非接触・非破壊で測定可能であるなどの理由から、これらのパラメータを評価するために幅広く利用されている。我々は先行研究において、SiGeのラマンスペクトルは興味深い形状を示し、ピークの低波数側に特徴的なブロードニングが生じる事を報告した。本研究では、重要なSiGe材料物性の深い理解のために、ラマンスペクトルにおけるブロードピークの起源を詳細に検討した。