[15p-B2-1~14] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[15p-B2-8] 内部量子効率マッピングによるPERC裏面の評価

〇望月 敏光¹、Supawan Joonwichien¹、白澤 勝彦¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研)

キーワード：結晶シリコン、太陽電池、PERCセル

PERCセルを始めとした特殊な裏面構造のプロセスの最適化のために、分光感度と全反射率を同一座標系でマッピング可能な内部量子効率測定装置で、適切な励起条件を選択することでPERCセルの裏面側のパッシベーションの品質を可視化する手段を確立した。低品質のPERCセルではAl-BSF領域よりAlO_x領域の量子効率が低く、Voidも散見されたが、高品質のセルではAlO_x領域での高い量子効率が得られた。