[15p-B5-1~19] 7.2 Applications and technologies of electron beams

△ [15p-B5-14] Improvement of Image Geometric Distortion of HEED-HARP Image Sensor

〇Katsunori Obata¹, Shingo Iwasaki¹, Shutetsu Akiyama² (1.Pioneer Corp., 2.Pioneer MTC)

Keywords:HEED, HARP, Image Geometric Distortion

我々は、パイオニア独自の平面冷陰極アレイであるHEEDに光電変換膜としてHARP膜を組み合せたHEED-HARP撮像板を報告してきた。この撮像板では、HARP膜の特徴である低ノイズ、高感度な画像が得られるが、画像周縁部に反時計回りの特異な幾何学歪が発生する。電子軌道計算により幾何学歪発生メカニズムを解析し、新たな制御電極を配置して電子軌道を修正することで幾何学歪を大きく低減できた。