[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-5] 噴水型低エネルギー二次電子検出器による絶縁体の観察

〇関口 隆史^1,2、揚村 寿英²、木村 隆¹、岩井 秀夫¹ (1.物財機構、2.筑波大数理)

キーワード：噴水検出器、二次電子、絶縁体

我々は、走査電子顕微鏡のアウトレンズ領域に設置するLow-pass二次電子検出器を開発し、これを噴水検出器と名付けた。一方、絶縁体をSEMで観察すると明るく見えるが、これは負帯電の結果であると信じられている。今回、噴水検出器を用いてSiAlON絶縁体を観察し、絶縁体が明るく見える原因について考察したので報告する。