[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-7] Quasi-Besselビームと環状ピクセルディテクタを用いたSTEM位相再生法の開発

〇川崎 忠寛^1,2,3、石田 高史^2,3、児玉 哲司⁴、松谷 貴臣⁵、丹司 敬義^2,3、生田 孝⁶ (1.JFCC、2.名大 未来研、3.GREEN、4.名城大、5.近畿大、6.大阪電通大)

キーワード：STEM、位相像、ベッセルビーム

電子顕微鏡において、原子カラム配列や電磁界分布などの試料の構造情報を直接得るためには、 “位相像”を再生する必要がある。我々のグループでは、走査型透過電子顕微鏡（STEM）で位相像を得ることが可能な手法として、円環状に多数の検出器を配置したピクセルディテクタを用いて、多数枚のSTEM像から画像処理で位相再生する方法を開発している。本手法により比較的厚い結晶試料においても構造像を得ることが出来るため、原子レベルの構造解析手法として有効であると言える。