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[15p-B9-5] 液相堆積法による(Ba, Sr)TiO3の堆積条件検討
キーワード:液相堆積法、誘電体薄膜、チタン酸バリウムストロンチウム
DRAMやFeRAMなどの高誘電体を利用した高速メモリのために,液相堆積(LPD)法による誘電体材料の生成方法が検討されている。(Ba,Sr)TiO3はBaとSrの含有比によって強誘電性から常誘電性へ変わる物質であり,その基本構成物SrTiO3の堆積条件を参考にして(Ba,Sr)TiO3のLPD堆積を行った。これにより,非常に残留分極の小さい薄膜が得られると同時に,溶液濃度によって薄膜のヒステリシスループに変化が生じた。