[15p-D61-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

△ [15p-D61-4] HfO_x障壁層形成法がNbTiN接合特性に与える効果

〇宗本 健太郎¹、榊原 啓人¹、田中 雅光¹、赤池 宏之¹、藤巻 朗¹ (1.名大工院)

キーワード：NbTiN