[15p-P11-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[15p-P11-10] スパッタエピタキシー法による低温成長歪Si膜の評価

〇出蔵 恭平¹、本橋 叡¹、大久保 克己¹、広瀬 信光²、笠松 章史²、三村 高志²、松井 敏明²、塚本 貴広¹、須田 良幸¹ (1.東京農工大院工、2.情報通信研究機構)

キーワード：半導体