[15p-P11-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[15p-P11-8] イオン注入歪み緩和法を用いて形成した
Si/Si_1-xC_x/Si(001)構造の結晶性評価

〇村上 太陽¹、有元 圭介¹、山中 淳二¹、原 康祐¹、山本 千綾²、宇佐美 徳隆³、星 裕介³、有澤 洋³、澤野 憲太郎⁴、中川 清和¹ (1.山梨大クリスタル研、2.山梨大ものづくりセンター、3.名古屋大学、4.東京都市大総研)

キーワード：半導体