[15p-P13-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-P13-13] インクジェット印刷を利用した薄型結晶シリコン基板上への裏面電極型ヘテロ接合太陽電池の作製

〇高岸 秀行¹、野毛 宏¹、齊藤 公彦¹、近藤 道雄² (1.福島大、2.産総研)

キーワード：裏面電極型ヘテロ接合太陽電池、インクジェット、薄型シリコン

インクジェット印刷によるエッチングマスク作製法を、裏面電極型ヘテロ接合太陽電池の作製に適用した。今回用いた結晶シリコン基板は厚さ100μm以下の薄型基板であり、一般的な加工法（フォトリソグラフィ）では容易に破損してしまう。一方、非接触印刷であるインクジェット印刷は基板にダメージを与えずに加工できるため、薄型基板を破損させることなく太陽電池が作製できた。変換効率は9%（AM1.5, 受光面積1.0 cm²）