[15p-P13-1~17] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15p-P13-6] Preparation of multi-antireflection films on silicon surface by spin coating method

Taku Osakabe¹, Takehiro Mariko¹, 〇Ryosuke Watanabe¹, Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:Solar cells, Anti-reflection coating

太陽電池の変換効率向上を目的として、異なる屈折率を持った薄膜を組み合わせて、反射率を低減させる多層反射防止膜の形成を試みた。ここで、現在反射防止膜の成膜方法として主流になっているプラズマCVD法に比べて低コストかつ作製の簡便なスピンコーティング法によって成膜を行った。加えて、反射防止膜を成膜した太陽電池の作製も行い、性能の検証を行った。