[15p-P18-1~3] 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」（ポスター）

[15p-P18-2] Niシリサイド化シリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスの作製と特性評価

〇麻田 修平¹、橋本 修一郎¹、徐 泰宇¹、大場 俊輔¹、松川 貴²、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.産総研)

キーワード：熱電、ナノワイヤ、シリコン

Siナノワイヤ構造のシリサイド化制御技術を用いて、寄生抵抗を抑えたSiナノワイヤ型熱電発電デバイスを作製し、その発電性能を評価した。その結果、発電量は微小なもののデバイスの微細化によって発電性能が向上することを示す興味深い結果が得られた。