16:00 〜 18:00 [15p-P18-2] Niシリサイド化シリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスの作製と特性評価 〇麻田 修平1、橋本 修一郎1、徐 泰宇1、大場 俊輔1、松川 貴2、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.産総研)