[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-1] 大気圧熱分解法によるSi-doped DLC薄膜の作製と評価

〇中山 廉平¹、村田 悠馬¹、小野 洋¹、田中 勝己¹ (1.電通大先進理工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、シリコンドープ、X線光電子分光法