[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-10] 炭素固溶反応を用いた高速かつ異方性ダイヤモンド(100)エッチング

〇(M1)長井 雅嗣¹、松本 翼¹、徳田 規夫¹、猪熊 孝夫¹ (1.金沢院自然)

キーワード：ダイヤモンド、エッチング、パワーデバイス