[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-13] 球型共振器構造MPCVDを用いた高濃度ホウ素ドープダイヤモンド(100)膜の高速成長

〇(M1)山本 貴大¹、金田 大輝¹、松本 翼¹、有屋田 修³、小倉 政彦²、加藤 宙光²、山崎 聡²、徳田 規夫¹、猪熊 孝夫¹ (1.金沢院自然、2.アリオス株式会社、3.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、100、ホウ素