[15p-P2-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[15p-P2-14] Dependences of electrical conductivity and CL spectra of lase-cut single-crystalline diamond (001) surfaces on surface treating processes

〇Kenji Maruoka¹, Taiki Naito¹, Osamu Maida¹, Toshimichi Ito¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:Diamond

高温高圧合成(HPHT)Ib(001)基板やその上にホモエピタキシャル成長したCVD(001)膜のレーザー切断面に対し、化学洗浄や水素プラズマ照射を行った後、それらの表面電気特性やカソードルミネッセンス(CL)スペクトルを測定した。