[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-14] 単結晶ダイヤモンドのレーザー切断(001)面における電気伝導性及びCLスペクトルの表面処理依存性

〇丸岡 憲史¹、内藤 大樹¹、毎田 修¹、伊藤 利道¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド

高温高圧合成(HPHT)Ib(001)基板やその上にホモエピタキシャル成長したCVD(001)膜のレーザー切断面に対し、化学洗浄や水素プラズマ照射を行った後、それらの表面電気特性やカソードルミネッセンス(CL)スペクトルを測定した。