[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-4] ポリマーフィルム上に堆積したアモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形

〇原田 人萌¹、青野 祐美¹、折原 大¹、北沢 信章¹、渡邉 芳久¹ (1.防衛大材料)

キーワード：光誘起変形、窒化炭素、ポリマーフィルム