[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-26] 透明酸化物半導体を用いたH_２及びCO₂センサの試作

〇田沼 涼¹、中井 洋志¹、中里 瞭汰¹、杉山 睦¹ (1.東理大 理工/総研)

キーワード：透明酸化物半導体、センサ