[15p-P3-1~32] 6.3 Oxide electronics

[15p-P3-28] Characterization of Dopant Density Dependence on Transmittance and Resistance of Multilayer ZnO Films Fabricated Using Spin-coating Method

〇Yusuke Morita¹, Ohtani Naoki¹ (1.Doshisha Univ.)

Keywords:thin film, zinc oxide, multi layer

AlとGaを共ドープさせた酸化亜鉛透明導電膜に関し、多層成膜を行うことによる抵抗値、透過率および成膜品質等の変化を比較検討すると同時に、最小抵抗値を得るための条件を追究する。