[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[15p-P6-10] 表面処理用高速ジェット式パルスプラズマ源の開発

〇小笠原 大介¹、川野 浩明¹、掛川 賢¹、宮原 秀一¹、沖野 晃俊¹ (1.東工大未来研)

キーワード：大気圧プラズマ、表面処理