[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[15p-P6-15] 大気圧ペン型プラズマによるDLCの局所成膜

〇吉木 宏之¹、佐賀井 佑馬^1,2 (1.鶴岡高専、2.オリックス・ファシリテ)

キーワード：大気圧マイクロプラズマ、ダイヤモンド状炭素膜、プラズマCVD

ダイヤモンド状炭素（DLC）膜の局所成膜の為にペン型プラズマ源を提案した。このプラズマは注射針を電極とし、RF（13.56 MHz）励起で生成される。DLC膜はCH₄/He混合ガスを用いて、Si基板にプラズマCVDで合成された。膜質はプラズマ‐基板間距離; dに大きく依存した。ラマン分光分析ではD-バンドとG-バンドの広いピークを観測した。FT-IRスペクトルから、膜は多量のH原子を含んだsp²、sp³結合から成る。インデンテーション硬さHITの最大値はd = 1 mm膜で11.1 GPa (Hv: 1052)を得た。他方、d = 10 mm膜はグラファイト様堆積物となった。