2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

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[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2016年9月15日(木) 13:30 〜 15:30 P6 (展示ホール)

13:30 〜 15:30

[15p-P6-16] NH3添加He/CH4ガスDCアーク放電によるアミノ基修飾金ナノ微粒子の作製

古川 大貴1、フ ルイ2、永津 雅章1,2 (1.静大総合科技研、2.静岡創造科技院)

キーワード:微粒子、プラズマ