[15p-P6-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [15p-P6-16] NH3添加He/CH4ガスDCアーク放電によるアミノ基修飾金ナノ微粒子の作製

〇古川 大貴¹、フ ルイ²、永津 雅章^1,2 (1.静大総合科技研、2.静岡創造科技院)

キーワード：微粒子、プラズマ