[16a-A21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-A21-4] AlN中間層の挿入による無極性m面GaN基板上AlGaN厚膜の成長

〇小谷 晃央^1,2,3、有田 宗貴¹、荒川 泰彦^1,2 (1.東大ナノ量子、2.東大生研、3.シャープ)

キーワード：窒化物、無極性