[16a-A21-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [16a-A21-5] X線その場観察MOVPEによるAlGaN/GaNヘテロ構造評価

〇(M1)金山 亮介¹、大角 純也¹、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大・理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター)

キーワード：AlGaN

本研究では、報告例の少ないその場観察X線回折測定装置を用いて、AlGaN/GaNヘテロ構造の成長機構分析行った。その結果として、逆格子空間マッピングの示す緩和とほぼ一致するという成果をあげ、光センサを用いた反り測定の緩和結果と比較して、より精度が高いことを示した。