10:00 〜 10:15 △ [16a-A21-5] X線その場観察MOVPEによるAlGaN/GaNヘテロ構造評価 〇(M1)金山 亮介1、大角 純也1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、赤﨑 勇1,2 (1.名城大・理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター)