[16a-A22-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16a-A22-4] β-Ga₂O₃薄膜と単結晶の光学定数の比較

〇尾沼 猛儀^1,2、齋藤 伸吾²、佐々木 公平^3,2、増井 建和³、山口 智広¹、本田 徹¹、倉又 朗人³、東脇 正高² (1.工学院大、2.情通機構、3.タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム、分光エリプソメトリ、単斜晶

β-Ga₂O₃薄膜と単結晶の分光エリプソメトリ測定を行い、光学定数を比較した結果を報告する。