[16a-A32-1~9] 17.3 層状物質

△ [16a-A32-8] 架橋型数層TMDを用いた高性能光電子デバイス作製におけるマイルドプラズマ効果

〇(M2)永井 黎人¹、金子 俊郎¹、加藤 俊顕¹ (1.東北大院工)

キーワード：原子層材料、マイルドプラズマ

近年，遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）が次世代半導体材料として大きな注目を集めている．我々は，プラズマを用いたTMDの電気特性の制御およびその機構解明を目的として系統的な実験を行った．その結果，本研究室で独自に開発したマイルド酸素プラズマ機能化により, 架橋型TMDデバイスの電気伝導度と光応答性を大幅に改善することに成功し，さらにこれがプラズマ中に生成された酸素由来の化学的活性種とTMDの反応に起因するものであることを明らかにしたので報告する．