[16a-A33-1~9] 17.2 グラフェン

△ [16a-A33-5] 架橋グラフェンナノリボンアレイのウェハースケール高集積化合成

〇鈴木 弘朗¹、金子 俊郎¹、澁田 靖²、大野 宗一³、前川 侑毅²、加藤 俊顕¹ (1.東北大院工、2.東大院工、3.北大院工)

キーワード：グラフェンナノリボン、プラズマCVD

本研究グループでは, Niナノバーを触媒としたプラズマCVDにより架橋グラフェンナノリボン(GNR)の合成に成功している. 本研究ではさらなる高効率なGNR合成実現に向け, 合成機構解明に関する研究を行った. 分子動力学計算及びフェーズダイヤグラムの理論解析と実験結果の比較により, 架橋GNR合成機構を明らかにした. これらの知見を基に, ウエハスケールで100万本以上の架橋GNRを高効率(~98%)で集積化合成することに世界で初めて成功した．