[16a-B3-1~6] 6.5 表面物理・真空

[16a-B3-4] アトムプローブとt-EBSDによる鉄鋼材料の粒界分析

〇間山 憲仁¹、太期 由貴子¹、新井 納生美¹、佐々木 智一¹ (1.東芝ナノアナリシス)

キーワード：アトムプローブ、粒界、EBSD

鉄鋼材料中の添加元素の分布や挙動、特に結晶粒界偏析は諸特性に大きな影響を及ぼすことが知られており、オージェ電子分光法(AES)や透過電子顕微鏡(TEM)、3次元アトムプローブ(APT)などによる分析が行われている。我々は、FIB加工装置にEBSDを導入し、結晶方向解析により結晶粒界を選定できるようになった。また、透過EBSD(t-EBSDまたはTKD)観察によって、粒界を含む試料作製手法を確立した。この手法をステンレス鋼に適用し、t-EBSDとAPT分析を組み合わせた粒界分析を行った。