[16a-B4-1~13] 3.11 Photonic structures and phenomena

[16a-B4-8] Fabrication of high-Q double-slotted nanocavity embedded with low-index cladding

〇(M1)Masahiro Nakadai¹, Ryotaro Konoike^1,2, Yoshinori Tanaka¹, Takashi Asano¹, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:photonic crystal

Siフォトニック結晶光ナノ共振器は、光を微小領域に長時間閉じ込めることができるため、光(量子)情報処理等の高度な光制御への応用が期待される。近年、我々はキャリアプラズマ効果を用いた屈折率の動的な制御による、共振器Q値の動的制御や共振器間における光転送等を実証してきた。また前回の報告では、制御に用いる自由キャリアによる光損失を避けるため、Siスラブ中に形成した、ダブルスロット構造に電気光学効果を持つ材料を埋め込むことで、屈折率を電気的に制御する手法について理論的に検討を行った。今回、このような微細(~90 nm)なスロット構造を実際に作製し、これを低屈折率媒質で埋め込む実験を行ったので報告する。