[16a-D61-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16a-D61-2] Epitaxial Lift-Off (ELO)法を用いたGOI基板の作製

〇(M1)大久保 亮太¹、徐 学俊¹、澤野 憲太郎¹、丸泉 琢也¹ (1.都市大総研)

キーワード：Ge-on-Insulator