[16a-D61-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16a-D61-9] MOCVD法を用いたin situ Pドーピングによる高濃度n型Geエピタキシャル成長

〇池 進一^1,2、竹内 和歌奈¹、中塚 理¹、財満 鎭明^1,3 (1.名大院工、2.学振特別研究員、3.名大未来研)

キーワード：ゲルマニウム、n型ドーピング、MOCVD