PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 コメント (0) 09:30 〜 11:30 [16a-P5-28] 低酸素GaNスパッタリングターゲットを用いた高結晶性GaN膜の作製 〇召田 雅実1、倉持 豪人1、高橋 言諸2、清水 三聡2 (1.東ソー、2.産総研) キーワード:窒化ガリウム、スパッタ