09:45 〜 10:00
〇小野 一善1、ユー アレクサンダー1,2、佐藤 昇男3、田中 雄次郎1、阪田 知巳3、神 好人1,3、小泉 弘1 (1.NTT先端集積デバイス研究所、2.ジョージア工科大、3.NTT デバイスイノベーションセンタ)
小野 一善
発表者・著者、共著者
2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S423 (南4号館)
09:45 〜 10:00
〇小野 一善1、ユー アレクサンダー1,2、佐藤 昇男3、田中 雄次郎1、阪田 知巳3、神 好人1,3、小泉 弘1 (1.NTT先端集積デバイス研究所、2.ジョージア工科大、3.NTT デバイスイノベーションセンタ)