18:30 〜 18:45 △ [20p-H103-20] スパッタ法により作製したアモルファス窒化炭素薄膜における投入電力の影響とその光誘起変形 〇原田 人萌1、青野 祐美1、北沢 信章1、渡邉 芳久1 (1.防大材料)
