13:30 〜 15:30 [21p-P11-7] 角度分解トポグラフィーと局所ロッキングカーブ法によるAlイオン注入SiC基板の歪状態の観察 〇高橋 由美子1、平野 馨一1、志村 考功2、吉村 順一1、長町 信治3 (1.KEK-PF、2.大阪大院工、3.(株)長町サイエンスラボ)