16:00 〜 18:00 [21p-P17-6] DCマグネトロンスパッタによるSi(001)基板上へのGe薄膜の形成 〇(PC)大塚 慎太郎1、森 貴洋1、森田 行則1、内田 紀行1、柳 永勛1、大内 真一1、更田 裕司1、右田 真司1、昌原 明植1、松川 貴1 (1.産総研)