13:30 〜 15:30 [21p-P5-1] 吸引プラズマによるSi基板の高速局所エッチング加工 〇宮脇 淳1、狩野 諒2、菅 洋志2、久保 利隆1、安藤 淳1、高橋 賢3、新堀 俊一郎3、清水 哲夫1 (1.産総研、2.千葉工大、3.三友製作所)